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    ceramicforum晶片內(nèi)位錯(cuò)檢測(cè)儀CS-1

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    更新日期:2024-05-21

    簡(jiǎn)要描述:

    ceramicforum晶片內(nèi)位錯(cuò)檢測(cè)儀CS-1
    "Crystalline Tester CS1"是非破壞性、非接觸式檢測(cè)可見(jiàn)光(波長(zhǎng)400~800nm)透明性晶體材料中由于殘留的缺陷、應(yīng)力引起的晶格畸變后分布情況的便捷式檢測(cè)設(shè)備。

    ceramicforum晶片內(nèi)位錯(cuò)檢測(cè)儀CS-1
    品牌其他品牌類型無(wú)損傷
    產(chǎn)地進(jìn)口

    ceramicforum晶片內(nèi)位錯(cuò)檢測(cè)儀CS-1

    ceramicforum晶片內(nèi)位錯(cuò)檢測(cè)儀CS-1

    "Crystalline Tester CS1"是非破壞性、非接觸式檢測(cè)可見(jiàn)光(波長(zhǎng)400~800nm)透明性晶體材料中由于殘留的缺陷、應(yīng)力引起的晶格畸變后分布情況的便捷式檢測(cè)設(shè)備。通過(guò)本設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)快速、準(zhǔn)確地把握目檢下無(wú)法看到的晶體晶格畸變的狀態(tài)。

    ceramicforum晶片內(nèi)位錯(cuò)檢測(cè)儀CS-1

    產(chǎn)品特征

    產(chǎn)品特長(zhǎng)

    1. 高速測(cè)量(6" 襯底 90秒)
      ?可以最快速度簡(jiǎn)捷方式觀察殘留應(yīng)力分布。

    2. 縱向結(jié)晶評(píng)價(jià)
      ?因?yàn)槭峭敢曅徒Y(jié)晶評(píng)價(jià)裝置,所以不只可以觀察襯底表面,還可以觀察包括Z軸方向的晶圓所有部位。

    3. 可取得與X-Ray Topography imaging comparison同等測(cè)試效果
      ?可以取得同等測(cè)試效果,實(shí)現(xiàn)高速低成本。

    4. 價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力
      ?在晶片測(cè)量裝置中,屬于性價(jià)比好的一款系統(tǒng)。

    可測(cè)量材料

    1. SiC單晶襯底、及SiC外延襯底

    2. GaN單晶襯底、及GaN外延襯底

    3. AlN單晶襯底、及AlN外延襯底

    4. 可視光可透視、有雙折射效果的結(jié)晶均可。

    測(cè)試效果不佳材料

    ?無(wú)可視光透視性材料:Si、GaAs等
    ?無(wú)雙折射效果材料:藍(lán)寶石、Ga2O3 等



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