日本理研計(jì)器費(fèi)米能級(jí)測(cè)量裝置FAC-2

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更新日期：2024-03-26

簡(jiǎn)要描述：

日本理研計(jì)器費(fèi)米能級(jí)測(cè)量裝置FAC-2
專用于光刻樣品的開爾文探針
輕松設(shè)置樣品，無需微調(diào)電極和樣品之間的距離

品牌	其他品牌

日本理研計(jì)器費(fèi)米能級(jí)測(cè)量裝置FAC-2

特征

專用于光刻樣品的開爾文探針

輕松設(shè)置樣品，無需微調(diào)電極和樣品之間的距離

可在大氣中測(cè)量半導(dǎo)體樣品的費(fèi)米能級(jí)

由于測(cè)量時(shí)間短，因此非常適合測(cè)量隨時(shí)間變化的情況，例如成膜或表面處理后金屬表面的變化。

目的

有機(jī)電子材料的費(fèi)米能級(jí)測(cè)量

金屬和導(dǎo)電薄膜功函數(shù)的測(cè)量

日本理研計(jì)器費(fèi)米能級(jí)測(cè)量裝置FAC-2

產(chǎn)品分類	開爾文探針
模型	FAC-2
測(cè)量原理	開爾文法
測(cè)量零件尺寸	Φ10mm
測(cè)量能量范圍	3.4 至 6.2eV（使用功函數(shù)為 5.0eV 的參考樣品進(jìn)行校準(zhǔn)時(shí)）
測(cè)量時(shí)間	10 秒或更短（如果樣品是金屬）
重復(fù)性（標(biāo)準(zhǔn)差）	功函數(shù)0.02eV（樣品：金板）
溫濕度范圍	溫度范圍15-35℃，濕度20-60%RH
電源	AC100V，50/60Hz 5A（最大）
外形尺寸	約235（寬）×330毫米（高）×408（深）毫米
重量	約12公斤