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    日本sscooling半導(dǎo)體冷水機組Nikola 3K/5K 實驗室冷水機
    
            
    
              
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    更新日期：2024-03-24
    
              
    簡要描述：
    
              
    日本sscooling半導(dǎo)體冷水機組Nikola 3K/5K
    用于等離子刻蝕和其他半導(dǎo)體應(yīng)用的高容量熱電冷水機組
    
            
    
          
    
          
    
            
    日本sscooling半導(dǎo)體冷水機組Nikola 3K/5K 實驗室冷水機
    
            
    
              
    
                
      
                  
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    品牌其他品牌產(chǎn)地進口
    冷卻方式水冷式儀器種類分體式
    
                            
                            
                    
    
                
    日本sscooling半導(dǎo)體冷水機組Nikola 3K/5K
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    • 我們專為半導(dǎo)體加工而設(shè)計的最高容量冷水機組
    • 3，000 或 5，000 瓦的冷卻能力
    • ±0.05°C 溫度穩(wěn)定性/重復(fù)性
    • 兩種泵選項，流量高達 10 gpm，壓力高達 100+ psig
    • 減少晶圓間的變化，消除晶圓效應(yīng)
    • 比基于壓縮機的冷水機組節(jié)能高達 80%
    • 采用熱電技術(shù)，可靠性高，維護成本低
    • 模塊化設(shè)計，易于維護
    • 消除氟利昂和其他有害制冷劑，符合新的環(huán)境法規(guī)
    • 使用更少的設(shè)施水和昂貴的冷卻劑，如氟惰性或高登
    • 通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統(tǒng)
    • 通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用
    • 等離子蝕刻、等離子灰分、計量、CMP 和其他工藝的解決方案
    規(guī)格
    工作范圍：
    -10°C 至 80°C
    環(huán)境溫度：
    10°C 至 40°C 無冷凝
    穩(wěn)定性/可重復(fù)性：
    恒定負載下± 0.05°C（即使在接近環(huán)境溫度時）
    制冷量*：
    尼古拉 3K：3000 瓦 @ 20°C（20°C 設(shè)施用水） 尼古拉 5K：5000 瓦 @ 20°C（20°C 設(shè)施用水）
    冷卻液/工藝流體：
    針對氟惰性/高登或HFE流體進行設(shè)置
    提供可選的乙二醇/水配置
    工藝流體接頭：
    3/4“ 世偉洛克（316 不銹鋼）
    泵：
    磁耦合渦輪機（高功率或高功率）
    流量：
    高達 10 加侖/分鐘（38 升/分鐘），流量和
    壓力可調(diào)（10 至 100 psig）
    油箱容積：
    10 升（2.6 加侖），帶 2 個液位傳感器
    設(shè)施用水：
    25 升/分鐘（6 加侖/分鐘）@ 7-25°C 過濾，處理過的循環(huán)設(shè)施冷卻水，pH 6.5 至 8.2
    設(shè)施水配件：
    3/4“ 世偉洛克（316 不銹鋼）
    N2/CDA（必需）：
    500 sccm -30°C 露點或更低的 CDA 或 N2，
    30-60 psig （2-4 bar），用于低溫操作
    接液材料：
    工藝：鋁，不銹鋼和聚合物設(shè)施
    ：密封硬質(zhì)陽極氧化鋁
    和不銹鋼
    尺寸（寬 x 深 x 高）：
    22 英寸 x 28 英寸 x 35 英寸（56 厘米 x 71 厘米 x 89 厘米）
    重量：
    ~300 磅（136 千克）干
    電源輸入：
    200-240 VAC 3 相，50/60 Hz，最大 20/30 A
    斷路器：
    20/30 安培 480 VAC 3 極，帶 GFCI
    遠程EMO：
    外部干接點
    通信：
    泛林， 應(yīng)用材料公司， RS232， 其他
    警報：
    溫度、液位、系統(tǒng)或組件
    故障（顯示、干接點和機器接口）
    標準：
    半 S2-0200，符合 F47 標準，CE
    保證：
    2 年


    
              
    



    

    
	
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                請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7
            
      
		
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