光學(xué)干涉式內(nèi)周面精密測(cè)量機(jī)

日本Adamant Namiki光學(xué)干涉式內(nèi)周面精密測(cè)量機(jī)nano PROFILER

以前看不見的毛孔內(nèi)周面的可視化現(xiàn)在成為可能！同時(shí)非接觸式測(cè)量?jī)?nèi)徑、圓度、劃痕等。

目前，航空航天設(shè)備的燃油噴嘴、醫(yī)療設(shè)備的中空零件、分析儀的精密噴嘴、流體軸承等精密孔加工零件得到廣泛應(yīng)用，評(píng)估內(nèi)周面的重要性正在迅速提高。...
內(nèi)徑較大的零件可以分別用內(nèi)徑測(cè)量機(jī)、圓度測(cè)量機(jī)和粗糙度/形狀測(cè)量機(jī)進(jìn)行測(cè)量和評(píng)估，但對(duì)于氣孔，零件不分成兩半。無(wú)法測(cè)量.

我們開發(fā)了NMH-02納米輪廓儀，這是一種內(nèi)周面測(cè)量機(jī)，通過(guò)使用近紅外光的光干涉，可以“可視化以前不可見的孔的內(nèi)周面” 。

通過(guò)安裝我們小的Φ0.9mm電機(jī)，采用我們的半透明標(biāo)準(zhǔn)管方法的特殊探頭，以及我們的傾斜校正計(jì)算算法，（1）小測(cè)量?jī)?nèi)徑Φ1.1mm（2）內(nèi)徑/圓度/同時(shí)形狀測(cè)量 (3) 重復(fù)測(cè)量精度 σ = 0.2 μm (4) 實(shí)現(xiàn)免設(shè)置測(cè)量的新概念測(cè)量機(jī)?？梢哉f(shuō)是我公司的具有超小直徑電機(jī)技術(shù)和光通信技術(shù)的產(chǎn)品。

可以觀察和測(cè)量氣孔的內(nèi)周面，同時(shí)可以同時(shí)測(cè)量必須使用測(cè)量機(jī)單獨(dú)測(cè)量的內(nèi)徑、圓度、粗糙度和形狀. 由于可以測(cè)量，測(cè)量時(shí)間可以從約30分鐘/工時(shí)顯著縮短至約30秒/工，大大有助于客戶測(cè)量吞吐量的提高。

特征

• 孔的內(nèi)徑和圓度可以從Φ1.1mm的小內(nèi)徑開始測(cè)量。
• 高精度測(cè)量，重復(fù)測(cè)量精度為 0.2 μm
• 免設(shè)置測(cè)量：通過(guò)原始算法處理自動(dòng)修正工件傾斜度
• 測(cè)量時(shí)間：傳統(tǒng)測(cè)量機(jī)30分鐘→本測(cè)量機(jī)30秒（內(nèi)徑/圓度/形狀同時(shí)測(cè)量）

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光干涉式內(nèi)周面精密測(cè)量機(jī) 測(cè)量原理

1. 來(lái)自寬帶光源（SLD *）的輸出光（近紅外光）是具有寬波長(zhǎng)范圍的光。
   * SLD：Super Luminescent Diode 一種寬帶和相位對(duì)齊的光源。
2. 由于石英管表面反射的光和工件內(nèi)周面反射的光之間的光路長(zhǎng)度不同，因此會(huì)發(fā)生光干涉。由電機(jī)旋轉(zhuǎn)的掃描鏡會(huì)受到旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)的振動(dòng)影響，但以固定的石英管為參考可以消除振動(dòng)的影響。
3. 用分光鏡對(duì)每個(gè)波長(zhǎng)的干涉光進(jìn)行分離，得到各波長(zhǎng)的光強(qiáng)（光譜干涉法）。
4. 獲得的波形通過(guò)軟件進(jìn)行分析計(jì)算，測(cè)量尺寸、形狀、標(biāo)準(zhǔn)等，并以3D形式顯示。