日本昭和SSC主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

日本昭和SSC主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

配備了于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動(dòng)。

高速計(jì)算由我們獨(dú)chuang的主動(dòng)隔振算法執(zhí)行，而振動(dòng)立即由高精度大功率執(zhí)行器消除。

我們地板側(cè)慷慨地部署了超靈敏的加速度傳感器，并通過(guò)前饋控制實(shí)現(xiàn)了世界z高水平的隔振性能。

在保持高性能且高精度的隔振性能而沒(méi)有共振現(xiàn)象的同時(shí)，還可以在短時(shí)間內(nèi)同時(shí)衰減由安裝臺(tái)的激振力施加的振動(dòng)。

配備舞臺(tái)前饋功能和波形顯示軟件作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

特點(diǎn)

• 振動(dòng)傳遞特性無(wú)共振。實(shí)現(xiàn)從低頻到高頻的超寬帶隔振。
• 具有6個(gè)自由度的高精度位置控制始終可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的隔振性能和位置精度。
• 可以選擇具有高響應(yīng)速度的大流量閥，以應(yīng)對(duì)較大的移動(dòng)負(fù)載。
• 安全可靠的設(shè)計(jì)與CE標(biāo)記兼容。（控制器SAC-07）
• 標(biāo)配臺(tái)前饋功能和振動(dòng)波形顯示分析軟件。

用途

• 在半導(dǎo)體制造和檢查設(shè)備中，它被用作對(duì)付需要精細(xì)處理的晶片上的振動(dòng)的對(duì)策，并且被用作對(duì)付晶片移動(dòng)臺(tái)上的振動(dòng)的對(duì)策。
• 在液晶制造和檢查設(shè)備中，其目的是在龍門(mén)架或工作臺(tái)顯著移動(dòng)時(shí)快速衰減振動(dòng)，并立即對(duì)其進(jìn)行檢查或糾正，這有助于縮短節(jié)拍時(shí)間。
• 在超精密機(jī)床中，它用于消除工作臺(tái)上的振動(dòng)以進(jìn)行精密加工，同時(shí)支持大載荷的運(yùn)動(dòng)。

日本昭和SSC主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型