| 參數(shù) | MSP - 100B | MSP - 100IR | MSP - 100UV |
|---|---|---|---|
| 測(cè)量波長(zhǎng) | 350-1100nm(可見(jiàn)光為主) | 900-1700nm(近紅外) | 230-800nm(紫外 - 可見(jiàn)光) |
| 核心傳感器 | 背照式 CCD 傳感器 | InGaAs 傳感器 | 背照式 CCD 傳感器 |
| 測(cè)量再現(xiàn)性(B 型) | ±0.2%(380-450nm/951-1050nm);±0.02%(451-950nm) | ±0.2%(380-450nm/951-1050nm);±0.02%(451-950nm) | ±0.2%(380-450nm/951-1050nm);±0.02%(451-950nm) |
| 測(cè)量 S/N 比(B 型) | 1000:1(400-900nm) | 1000:1(400-900nm) | 1000:1(400-900nm) |
| 測(cè)量光斑(10× 物鏡) | φ50μm | φ50μm | φ50μm |
| 樣品曲率半徑 | -1R 至 +∞(可測(cè)曲面) | -1R 至 +∞(可測(cè)曲面) | -1R 至 +∞(可測(cè)曲面) |
| 核心優(yōu)勢(shì) | 可見(jiàn)光波段高精度,適配常規(guī)光學(xué)檢測(cè) | 紅外高靈敏度,適合半導(dǎo)體、紅外元件檢測(cè) | 紫外波段精準(zhǔn),適配光刻膠、UV 涂層等檢測(cè) |
波段定位差異
MSP - 100B:覆蓋可見(jiàn)光及少量近紅外,是通用型可見(jiàn)光反射率測(cè)量方案,適合多數(shù)常規(guī)光學(xué)元件(如鏡頭、AR/AG 鍍膜玻璃)的日常檢測(cè)。
MSP - 100IR:聚焦近紅外波段,針對(duì)紅外光學(xué)材料、半導(dǎo)體晶圓、紅外傳感器等,能精準(zhǔn)捕捉紅外波段反射特性,適配紅外器件研發(fā)與質(zhì)量控制。
MSP - 100UV:延伸至紫外波段,適配紫外敏感材料,如光刻膠薄膜、UV 固化涂層、紫外光學(xué)濾鏡等,滿足半導(dǎo)體光刻、紫外光學(xué)元件的高精度檢測(cè)需求。
傳感器適配
MSP - 100B/UV 用背照式 CCD,在可見(jiàn) / 紫外區(qū)靈敏度高、信噪比優(yōu);MSP - 100IR 用 InGaAs 傳感器,保障紅外波段高靈敏度,匹配其波段測(cè)量需求。
共性優(yōu)勢(shì)
三款均具備 φ50μm 微小光斑測(cè)量能力,采用半反射鏡技術(shù)可消除背面反射,無(wú)需背面處理即可測(cè)薄至 0.2mm 的樣品,支持曲面與平面測(cè)量,操作軟件友好,測(cè)量快速且重復(fù)性強(qiáng)。
按應(yīng)用場(chǎng)景選型
| 應(yīng)用場(chǎng)景 | 推薦型號(hào) | 選型理由 |
|---|---|---|
| 光學(xué)鏡頭、AR/AG 鍍膜、常規(guī)顯示面板 | MSP - 100B | 可見(jiàn)光波段覆蓋全面,滿足常規(guī)光學(xué)產(chǎn)品反射率檢測(cè)需求 |
| 半導(dǎo)體晶圓、紅外傳感器、紅外光學(xué)元件 | MSP - 100IR | 近紅外波段適配,匹配紅外器件反射特性分析需求 |
| 光刻膠、UV 涂層、紫外濾鏡、PCB 光刻工藝 | MSP - 100UV | 紫外波段精準(zhǔn)測(cè)量,適配紫外敏感材料檢測(cè) |
| 跨波段復(fù)合檢測(cè) | 組合選型(如 B+UV/B+IR) | 根據(jù)實(shí)際波段覆蓋需求,搭配兩款設(shè)備實(shí)現(xiàn)全波段檢測(cè) |
按樣品特性選型
微小區(qū)域(φ50μm)、超薄樣品(0.2mm,20× 物鏡)、曲面樣品:三款均可,優(yōu)先按波段選擇。
低反射率樣品:三款通過(guò)光學(xué)設(shè)計(jì)提升集光效率,搭配高靈敏度傳感器,均可快速穩(wěn)定測(cè)量,按波段匹配即可。
按精度需求選型
451-950nm 波段對(duì)精度要求高(±0.02%):三款均可滿足該波段精度;380-450nm/951-1050nm 精度為 ±0.2%,若側(cè)重紫外 / 紅外邊緣波段,優(yōu)先對(duì)應(yīng)型號(hào)(UV/IR)。
明確核心測(cè)量波段,確定基礎(chǔ)型號(hào)(B/IR/UV)。
確認(rèn)樣品特性(尺寸、厚度、曲面 / 平面、反射率),三款均適配微小 / 超薄 / 曲面樣品,無(wú)需額外篩選。
核對(duì)精度需求,重點(diǎn)關(guān)注目標(biāo)波段的再現(xiàn)性指標(biāo)。
若需跨波段測(cè)量,可組合兩款型號(hào),覆蓋更寬光譜范圍。